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當前位置：
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2004年首台斜面邊緣研磨設備
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2009年成立大連分公司
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2010年新建富津工場
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2012年創業100周年
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2014年成立無錫分公司
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2015年精密事業30周年
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2016年熊本工場建成
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2021年合肥荏原精密成立
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2023年成立深圳營業部
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1985年面向半導體産業開啓精密電子事業
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1986年交付首台羅茨幹式真空泵
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1990年交付首台電鍍設備
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1992年交付首台CMP設備
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1999年上海荏原精密機械有限公司成立
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1965年新建藤澤工場，建立日本首套标準泵量産體制
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1975年新建袖浦工場
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1912年由井口在屋博士與畠山 一清創立井口式機械事務所
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1920年設立株式會社荏原制作所