平闆顯示器（Flat Panel Display，FPD）面闆的生産制造過程非常繁複，從一塊玻璃基闆到出廠成品至少需要 300 道流程工藝，全程需在無塵的環境、精密的技術工藝下進行。所以，高度可靠的真空供應在面闆生産過程中尤爲重要。平闆顯示器（FPD）制造制程需要能夠支持巨大加工室，并在最大可靠性的情況下輸送高氣體流速的真空和減排設備。需要使用真空系統來泵送有毒、自燃和腐蝕性氣體，并處理制造制程艙中形成的大量固态制程副産物。