——ESA

ESA機型是基于EBARA成熟的羅茨泵技術而研發生産。ESA200W及較大型号适合LCD 光伏制造設備等行業中對大體積腔室的快速排氣需求。ESA25-D和ESA70W在MO-CVD和EPI等應用上有大量的安裝實績。ESA機型還具有用于高氣體負荷時的智能運行程序和先進的安全報警功能。