上海荏原精密機械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
首頁
關于我們
公司簡介
集團曆史
經營理念
品牌宣言
公司榮譽
産品中心
真空解決方案
化學機械研磨設備
尾氣處理設備
臭氧發生裝置
晶圓電鍍裝置
邊緣研磨設備
應用行業
SEMI
PV
LED
FPD
GV
技術支持
産品資料
視頻資料
公司動态
公司新聞
行業新聞
聯系我們
聯系方式
在線留言
全球布局
人才招聘
×
産品中心
Product Center
當前位置:
首頁
>
産品中心
>
真空解決方案
>
EST
真空解決方案
化學機械研磨設備
尾氣處理設備
臭氧發生裝置
晶圓電鍍裝置
邊緣研磨設備
——EST
EST機型基于荏原創新性的螺杆泵技術制造,擅長應對重制程反應産生的化學副産物。EST最适合粉狀、腐蝕性和可能需求一定高溫的應用。
021-6058 1899
聯系我們
産品特點
Specification Table
産品特點
鎳合金,鎳塗層等耐腐蝕型材料選配
靈活的加溫選配
智能轉速控制功能,保證足夠的氣體吞吐量
先進的預警和報警數據存儲能力
手動報警設置功能(可編程的LCD控制器)
适用SEMI-S2/CEmarking/NRTL标準
Specification Table
推薦産品
ESA
了解詳情
EV-M
了解詳情
幹泵一體機
了解詳情
ESR
了解詳情
EV-X
了解詳情
EV-SA
了解詳情