由于工藝負荷和複雜性的增加，安裝在Subfab中的組件系統的數量也在增加。對體積更小、更能承擔高負荷的真空泵的需求與日俱增。 荏原專門應對此部分市場需求，推出了幹式真空泵EV-X型。滿足顧客對小型化、高負荷真空泵的要求。