——EV-S

EV-S機型是按SEMI工業标準設計的一款羅茨幹式真空泵，主要應用于輕制程的應用，具有超低的能耗和超高的能效。EV-S型泵采用了多種先進技術，如可調抽速，休眠和怠速功能，同時具有先進的安全報警功能以及可選配的耐腐蝕材料。