——G5系列

EG5機型能适用于大部分制程的尾氣清理，包含半導體、液晶面闆、太陽能電池和LED制造過程中的廢氣包括全氟化合物。該集成系統可自動高效去除粉狀副産物，從而實現維護和運行成本的降低。