上海荏原精密機械有限公司
Shanghai Ebara Precision Machinery Co., Ltd.
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G6系列
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——G6系列
G6機型能夠吸收大多數一般流程和清潔氣體,包括用于半導體、液晶面闆、太陽能電池和led制造業務的全氟化碳。G6機型是在G5機型基礎上發展而來的,非常适合大流量高熱産氫氣體的使用。
021-6058 1899
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産品特點
Specification Table
産品特點
進氣量是G5機型的3倍
去除粉狀副産物,運行時間長
低運行成本,能夠根據多種氣體按需調整燃料流量
設計上方便維護,适用于高氣體負載比如大容量粉狀副産物捕集
Specification Table
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