——F-REX200M2

Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導體晶元表面進行化學機械研磨的CMP設備。設備具備經市場證明了的高度可靠以及優越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規格要求進行靈活應對。