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荏原精密機械
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質量保證 | 貼心服務 | 技術成熟
上海荏原精密機械有限公司隸屬于株式會社日本荏原制作所下設精密電子事業群，是一家以半導體制造設備爲主的提供營銷、維修以及售後服務的外商獨資企業。
公司成立于1999年4月，注冊資本4.95億日元，位于上海浦東新區，業務範圍主要涵蓋真空泵、化學機械研磨機、電鍍機、尾氣處理裝置等産品的銷售、售後服務、技術支持等。
- 1999年
公司成立于
- 116家
全球子公司
- 50億元
注冊資本
産品中心
PRODUCT
一家以半導體制造設備爲主的提供營銷、維修以及售後服務的外商獨資企業
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01 /EV-X幹式真空泵由于工藝負荷和複雜性的增加，安裝在Subfab中的組件系統的數量也在增加。對體積更小、更能承擔高負荷的真空泵的需求與日俱增。 荏原專門應對此部分市場需求，推出了幹式真空泵EV-X型。滿足顧客對小型化、高負荷真空泵的要求。
覆蓋多種工藝流程
小型化設計、交貨期短
耐用性高、擁有總成本低廉
廣泛的荏原技術支援網絡
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02 /EV-M幹式真空泵EV-M機型是專爲重制程應用而設計的羅茨泵，在半導體、液晶和光伏電池等有大量副産物的制程中有大量實績。EV-M掌握了抵抗重制程應用和能源效率之間的平衡，以充分滿足客戶的需要，同時減少停機時間和降低運行成本。智能轉速控制功能，保證足夠的氣體吞吐量占地面積小能耗低，能效高鎳合金，鎳塗層等耐腐蝕型材料選配
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03 /EST幹式真空泵EST機型基于荏原創新性的螺杆泵技術制造，擅長應對重制程反應産生的化學副産物。EST最适合粉狀、腐蝕性和可能需求一定高溫的應用。鎳合金，鎳塗層等耐腐蝕型材料選配智能轉速控制功能，保證足夠的氣體吞吐量先進的預警和報警數據存儲能力手動報警設置功能(可編程的LCD控制器)
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01 /F-REX300X化學機械研磨設備Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導體晶元表面進行化學機械研磨的CMP設備。設備具備經市場證明了的高度可靠以及優越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規格要求進行靈活應對。幹進幹出有支持大批量生産的多樣輔助設備優越的工藝性能靈活對應各用戶的特殊規格要求
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02 /F-REX200M2化學機械研磨設備Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導體晶元表面進行化學機械研磨的CMP設備。設備具備經市場證明了的高度可靠以及優越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規格要求進行靈活應對。幹進幹出有支持大批量生産的多樣輔助設備優越的工藝性能靈活對應各用戶的特殊規格要求
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01 /G6系列尾氣處理設備G6機型能夠吸收大多數一般流程和清潔氣體，包括用于半導體、液晶面闆、太陽能電池和led制造業務的全氟化碳。G6機型是在G5機型基礎上發展而來的，非常适合大流量高熱産氫氣體的使用。進氣量是G5機型的3倍去除粉狀副産物，運行時間長低運行成本，能夠根據多種氣體按需調整燃料流量設計上方便維護，适用于高氣體負載比如大容量粉狀副産物捕集
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02 /G5系列尾氣處理設備EG5機型能适用于大部分制程的尾氣清理，包含半導體、液晶面闆、太陽能電池和LED制造過程中的廢氣包括全氟化合物。該集成系統可自動高效去除粉狀副産物，從而實現維護和運行成本的降低。高效處理各種氣體,包括溫室氣體，全氟化合物等可根據氣體種類按需調節燃料流量，從而降低運行成本自動清洗、去除粉狀副産物，增長運行時間
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